摘要：化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵的平坦化工藝，而控制研磨液中的大顆粒計(jì)數(shù)（LPC）對確保晶圓表面質(zhì)量和提高產(chǎn)品良率至關(guān)重要。隨著工藝向更小納米級發(fā)展，對LPC的檢測精度要求更高。文章討論了LPC檢測的技術(shù)難點(diǎn)，包括高濃度樣品干...
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摘要：化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵的平坦化工藝，而控制研磨液中的大顆粒計(jì)數(shù)（LPC）對確保晶圓表面質(zhì)量和提高產(chǎn)品良率至關(guān)重要。隨著工藝向更小納米級發(fā)展，對LPC的檢測精度要求更高。文章討論了LPC檢測的技術(shù)難點(diǎn)，包括高濃度樣品干...
過濾效率檢測儀是一種專門用于測量和評估過濾材料或過濾器對顆粒物、氣溶膠等污染物過濾效率的儀器。它廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、紡織科學(xué)技術(shù)、安全科學(xué)技術(shù)、空氣凈化、醫(yī)療、制藥、食品、電子、化工等多個(gè)領(lǐng)域。過濾效率檢測儀通過模擬實(shí)際工作環(huán)境，向測試系統(tǒng)...
過濾效率檢測儀是一種專門用于測量和評估過濾材料或過濾器對顆粒物、氣溶膠等污染物過濾效率的儀器。它廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、紡織科學(xué)技術(shù)、安全科學(xué)技術(shù)、空氣凈化、醫(yī)療、制藥、食品、電子、化工等多個(gè)領(lǐng)域。過濾效率檢測儀通過模擬實(shí)際工作環(huán)境，向測試系統(tǒng)...
在線激光粒度儀是一種用于實(shí)時(shí)監(jiān)測和分析顆粒粒度分布的儀器，常用于工業(yè)過程控制中。這類儀器可以提供即時(shí)的數(shù)據(jù)反饋，幫助優(yōu)化生產(chǎn)過程，確保產(chǎn)品質(zhì)量，并滿足相關(guān)法規(guī)的要求。工作原理基于光的散射（衍射）現(xiàn)象。當(dāng)激光束穿過含有顆粒的介質(zhì)時(shí)，顆粒會散射...
全文共3140字，閱讀大約需要12分鐘1本文的應(yīng)用背景盡管銅化學(xué)機(jī)械平坦化(CMP)已成為半導(dǎo)體制造業(yè)實(shí)現(xiàn)集成電路局部和全局平坦化的關(guān)鍵技術(shù)，但在阻擋層CMP過程中仍有一些問題需要克服，如有機(jī)殘留物、表面顆粒、蝶形缺陷、侵蝕和劃痕，其中，劃...
納米激光粒度分析儀，也稱為納米激光粒度儀或激光納米粒度儀，其工作原理基于顆粒在液體中的布朗運(yùn)動及光散射現(xiàn)象。當(dāng)單色激光照射到懸浮在液體中的納米粒子上時(shí)，粒子會散射光線。由于粒子在液體中做布朗運(yùn)動，導(dǎo)致散射光的強(qiáng)度隨時(shí)間隨機(jī)波動。通過光電探測...
在線計(jì)數(shù)粒徑檢測儀是一種集自動進(jìn)樣、自動稀釋、自動檢測、數(shù)據(jù)處理以及自動清洗等全自動檢測功能于一身的先進(jìn)設(shè)備，它為用戶提供了方便、快捷、高效、可靠的粒徑分析解決方案。其原理主要基于光的散射或衍射現(xiàn)象，這些現(xiàn)象與顆粒的大小、形狀、折射率以及入...
不溶性微粒檢測儀是一種用于檢測液體中不溶性微粒大小和數(shù)量的重要分析儀器，主要采用光阻法或顯微計(jì)數(shù)法來檢測液體樣品中的不溶性微粒。光阻法是通過激光束照射樣本，利用散射光信號的強(qiáng)度和方向來確定微粒的數(shù)量和尺寸。顯微計(jì)數(shù)法則是通過顯微鏡觀察并計(jì)數(shù)...
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